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薄膜トランジスタの半導体層用酸化物、薄膜トランジスタ、表示装置およびスパッタリングターゲット
专利权人:
株式会社神戸製鋼所
发明人:
森田 晋也,廣瀬 研太,三木 綾,釘宮 敏洋
申请号:
JP20130073723
公开号:
JP6068232(B2)
申请日:
2013.03.29
申请国别(地区):
日本
年份:
2017
代理人:
摘要:
Provided is an oxide semiconductor configured to be used in a thin film transistor having high field-effect mobility; a small shift in threshold voltages against light and bias stress; excellent stress resistance. The oxide semiconductor has also excellent resistance to a wet-etchant for patterning of a source-drain electrode. The oxide semiconductor comprises In, Zn, Ga, Sn and O, and satisfies the requirements represented by expressions (1) to (4) shown below, wherein [In], [Zn], [Ga], and [Sn] represent content (in atomic %) of each of the elements relative to the total content of all the metal elements other than oxygen in the oxide. (1.67×[Zn]+1.67×[Ga])≧100   (1) {([Zn]/0.95)+([Sn]/0.40)+([In]/0.4)}≧100   (2) [In]≦̸40   (3) [Sn]≧5   (4)
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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