一种高温抗氧化涂层的复合沉积方法
- 专利权人:
- 兰州空间技术物理研究所
- 发明人:
- 熊玉卿,赵栋才,冯煜东,王兰喜,王金晓
- 申请号：
- CN201510576645.4
- 公开号：
- CN105132888A
- 申请日:
- 2015.09.11
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2015
- 代理人:
- 高玉滨
- 摘要：
- 本发明公开了一种用于高温抗氧化涂层的复合沉积方法，包括下列步骤：(1)将需沉积涂层的基底放置于反应室内，将反应室抽真空；(2) 利用加热装置对基底加热并保持相应加热温度；(3)利用原子层沉积技术在基底上沉积一层所需的高温抗氧化层；(4)利用化学气相沉积技术沉积一层与步骤（3）中同种材料的高温抗氧化层；(5)重复上述步骤(3)至(4)，直到高温抗氧化层的厚度满足要求为止。本发明利用原子层沉积涂层的高致密性，实现对化学气相沉积薄膜中裂纹、微孔等缺陷的阻隔，防止各类缺陷的遗传和发展，使涂层具有很好的抗氧化性能，同时，沉积时间也在可实现的合理范围中。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
