同腔原位复合沉积铱‑氧化铝高温涂层设备与工艺

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专利权人:

东南大学

发明人:

刘磊,吕俊,黄亚洲,杨俊杰,陈云飞,倪中华

申请号：

CN201710445375.2

公开号：

CN107119264A

申请日:

2017.06.14

申请国别(地区):

中国

年份:

2017

代理人:

蒋昱

摘要：

同腔原位复合沉积铱‑氧化铝高温涂层设备与工艺，涉及化学气相沉积技术领域。设备包括反应腔体系统、四条管路系统、真空系统和尾气处理系统，系统之间通过管路密封连接。四种前驱体源置于源瓶中，源瓶与四条管路分别相连。通过四个气动阀调控前驱体源的通入，N₂作为源的载气，真空泵系统为设备提供一定真空度，尾气处理处理系统对反应后产物进行处理后排放；通入Al(CH₃)₃、H₂O源，ALD沉积复合材料的Al₂O₃层，通入Ir金属化合物、O₂源，ALD沉积复合材料的Ir层，将Ir化合物源通入反应腔内高温分解，CVD沉积Ir层。按照复合涂层工艺方案沉积，得到耐高温抗氧化、高粘附力、抗热震的Re基Ir‑Al₂O₃复合涂层材料。在航空航天、能源动力以及国防等领域具有广泛的应用。

来源网站：

中国工程科技知识中心

来源网址：

http://www.ckcest.cn/home/