低膨胀系数的石英玻璃的制备方法及石英玻璃

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专利权人:

中国建筑材料科学研究总院

发明人:

聂兰舰,向在奎,饶传东,王蕾,刘飞翔,邵竹锋,王慧,王宏杰,贾亚男,符博,张辰阳,王玉芬

申请号：

CN201610798852.9

公开号：

CN106430913A

申请日:

2016.08.31

申请国别(地区):

中国

年份:

2017

代理人:

王伟锋`刘铁生

摘要：

本发明是关于一种低膨胀系数的石英玻璃的制备方法及石英玻璃，涉及石英玻璃制备领域，主要目的在于制备膨胀系数较低的石英玻璃，解决目前无法控制低膨胀石英玻璃的钛离子价态，导致光学性能不稳定而无法在航天、极紫外光刻等领域中得到应用。所述方法包括：向所述烧结空间通入氧化气氛气流，使所述烧结空间处于氧化环境，对所述掺钛二氧化硅疏松体进行烧结；对烧结后制得的透明化的石英玻璃冷却后，获得所述石英玻璃成品。烧结中，氧化环境可防止Ti⁴⁺向Ti³⁺转变，以及促进Ti³⁺向Ti⁴⁺转变当Ti⁴⁺钛离子较多，Ti³⁺钛离子较少的掺钛石英玻璃中，能够在保证石英玻璃在膨胀系数较低的同时，光谱透过率等光学性能较优。

来源网站：

中国工程科技知识中心

来源网址：

http://www.ckcest.cn/home/