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基于量子进化算法的宽角度极紫外Mo/Si多层膜的设计方法
- 专利权人:
- 长春理工大学
- 发明人:
- 匡尚奇,王一名,张超
- 申请号：
- CN201710168208.8
- 公开号：
- CN106951638A
- 申请日:
- 2017.03.21
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 李青
- 摘要：
- 基于量子进化算法的宽角度极紫外Mo/Si多层膜的设计方法属于极紫外多层膜研发领域，解决了在宽角度极紫外多层膜设计中普遍采用遗传算法优化设计过程中存在的种群规模大、计算过程复杂和求解效率低的问题。该方法步骤如下1)输入量子进化算法的初始极紫外多层膜参数值；2)将多层膜膜系参数进行量子编码，生成量子染色体种群；3)计算各多层膜膜系的适应度，选出最优的膜系结构；4)进化判断，满足优化准则，输出最优多层膜膜系结构，算法停止；否则继续进化；5)通过互补变异和离散交叉更新量子编码的多层膜膜系后转向第3)步。该方法适用于宽角度高反射率极紫外多层膜的膜系优化设计，具有种群规模小、收敛速度快和求解效率高的优点。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
