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基于改进型量子进化算法的宽角度EUV多层膜设计方法
- 专利权人:
- 长春理工大学
- 发明人:
- 张超,王一名,匡尚奇
- 申请号：
- CN201710220424.2
- 公开号：
- CN106990527A
- 申请日:
- 2017.04.06
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 仲崇明
- 摘要：
- 本发明公开了一种基于改进型量子进化算法的宽角度EUV多层膜设计方法，其可解决基于量子进化算法的宽角度多层膜膜系设计中无明确的进化方向所导致的求解效率较低的问题，以及基于遗传算法的膜系设计中种群规模大，求解效率和求解精度低的问题。本发明通过将利用评价函数梯度信息的改进型量子进化算法应用于宽角度极紫外多层膜设计中。并将基于本发明方法的Mo/Si多层膜设计结果与基于量子进化算法和遗传算法的Mo/Si多层膜设计结果进行对比，结果表明，本发明方法可实现对宽角度高反射率极紫外多层膜的设计，并且具有种群规模小、求解效率和精度较高的优势，证明该方法适用于宽角度高反射极紫外多层膜的膜系设计，是一种高效的复杂膜系设计方法。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
