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RÉCIPIENT DE RÉCEPTION DE SUBSTRAT
专利权人:
MIRAIAL CO., LTD.;ミライアル株式会社
发明人:
MATSUTORI Chiaki,松鳥千明
申请号:
JPJP2020/014929
公开号:
WO2020/122261A2
申请日:
2020.03.31
申请国别(地区):
JP
年份:
2020
代理人:
摘要:
A substrate-accommodating container 1 comprises: a container body 2 that has tubular walls that have an open peripheral section at one end in which a container body opening is formed, and are closed at the other end, wherein a substrate-accommodating space, which is capable of accommodating substrates and communicates with the container body opening, is formed by the inner surfaces of the wall; a lid body 3; and a seal member 4. The walls 20 of the container body 2 are provided with a central fastening member 6 that can be attached to and removed from the walls 20 of the container body, said central fastening member 6 being fastened as a result of engaging with a position-aligning part provided to a load port for transferring a substrate accommodated in the substrate-accommodating space to a processing device.Un récipient de réception de substrat 1 comprend : un corps de récipient 2 qui a des parois tubulaires qui ont une section périphérique ouverte à une extrémité dans laquelle une ouverture de corps de récipient est formée, et qui sont fermées à l'autre extrémité, un espace de réception de substrat, qui est capable de recevoir des substrats et qui communique avec l'ouverture de corps de récipient, est formé par les surfaces internes de la paroi; un corps de couvercle 3; et un élément d'étanchéité 4. Les parois 20 du corps de récipient 2 sont pourvues d'un élément de fixation central 6 qui peut être fixé à et retiré des parois 20 du corps de récipient, ledit élément de fixation central 6 étant fixé suite à la mise en prise avec une partie d'alignement de position disposée sur un port de charge pour transférer un substrat reçu dans l'espace de réception de substrat à un dispositif de traitement.一端部に容器本体開口部が形成された開口周縁部を有し、他端部が閉塞された筒状の壁部を備え、壁部の内面によって、基板を収納可能であり容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体2と、蓋体3と、シール部材4と、を備え、 容器本体2の壁部20には、基板収納空間に収納された基板を処理装置に搬送するためのロードポートに設けられた位置合わせ部に係止されて固定される中央被固定部材6が容器本体2の壁部20に対して着脱可能に設けられている基板収納容器1である。
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

意 见 箱

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