재단법인대구경북과학기술원;DAEGU GYEONGBUK INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY
发明人:
CHOI, HONG SOO,최홍수,CHOI, JI WOONG,최지웅,JANG, JAE EUN,장재은
申请号：
KR1020120038166
公开号：
KR1020130115656A
申请日:
2012.04.12
申请国别(地区):
KR
年份:
2013
代理人:
摘要：
PURPOSE: A method for manufacturing a complex micropiezoelectric ultrasonic transducer is provided to enable the reception and the transmission of ultrasonic signals by arranging a receiving unit and a transmitting unit on a single substrate, thereby forming a compact complex micropiezoelectric ultrasonic transducer. CONSTITUTION: A complex micropiezoelectric ultrasonic transducer (100) includes a substrate (110), an ultrasonic transmitter (140), and an ultrasonic receiver (130). The ultrasonic transmitter is arranged between a pair of electrodes on the substrate and generates ultrasonic signals by using a thick film piezoelectric layer. The ultrasonic receiver, which is arranged between the electrodes on the substrate to be adjacent to the ultrasonic transmitter, includes a thin film piezoelectric layer thinner than the thick film piezoelectric layer and receives the ultrasonic waves which are transmitted by the ultrasonic transmitter, reflected by an object, and returned.본 발명은 복합형 미세 압전 초음파 트랜스듀서에 관한 것이며, 본 발명의 복합형 미세 압전 초음파 트랜스듀서는 기판； 상기 기판 상에 배치되며, 한 쌍의 전극 사이에서 구비되어 후막압전층을 이용하여 초음파 신호를 발생시키는 초음파 송신부； 상기 기판 상에서 상기 송신부와 이웃하게 배치되며, 상기 후막압전층보다 얇은 박막압전층을 구비하고 한 쌍의 전극 사이에서 상기 초음파송신부로부터 송신되어 물체와 부딪히고 돌아오는 초음파를 수신하는 초음파수신부；를 포함하는 것을 특징으로 한다.따라서, 본 발명에 의하면, 초음파 송수신 기능을 수행하는 구성을 동일 기판상에 형성하고, 각 압전층의 두께를 기능에 따라 달리 구성함으로써 컴팩트한 구성을 통하여 우수한 초음파 송수신 기능을 구현할 수 있는 복합형 미세 압전 초음파 트랜스듀서가 제공된다.
