超声波换能器元件芯片、探测器以及电子设备
- 专利权人:
- 精工爱普生株式会社
- 发明人:
- 中村友亮,鹤野次郎,清濑摄内
- 申请号：
- CN201310053151.9
- 公开号：
- CN103286056B
- 申请日:
- 2013.02.17
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明提供了超声波换能器元件芯片、探测器以及电子设备，该超声波换能器元件芯片具备：基板，将多个开口配置为阵列状；超声波换能器元件，设置于多个所述开口中的每个所述开口；板状部件，被固定在所述基板的设置有所述超声波换能器元件的面的相反侧的面上，从所述基板的厚度方向俯视观察，覆盖多个所述开口的至少一个以上，多个所述开口之间的隔壁部的壁厚小于壁高。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
