超声波换能器装置及其制造方法、探测器、电子设备
- 专利权人:
- 精工爱普生株式会社
- 发明人:
- 清濑摄内,铃木博则,松田洋史
- 申请号：
- CN201410120672.6
- 公开号：
- CN104068893A
- 申请日:
- 2014.03.27
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2014
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明提供一种超声波换能器装置及其制造方法、探测器、电子设备以及超声波图像装置。超起波换能器装置的特征在于，具备多个振动膜配置为阵列状的基体、形成于所述振动膜上的第一电极膜、形成于所述第一电极膜上的压电体膜、形成于所述压电体膜上的第二电极膜以及形成为比所述第一电极膜的膜厚大的膜厚且与所述第一电极膜连接的第一导电膜。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
