The present invention is directed to a method of separating oxygen from an oxygen-containing gas. By guiding the first surface of dense inorganic film step of compressing and heating the oxygen-containing gas plasma pump (16) in an oxygen-containing gas is compressed and heated above, the method, the oxygen-containing heating the inorganic film to a temperature at which to transmit the oxygen gas, and, I have a step of generating a pressure difference between the first and second surfaces of the inorganic film. With the flow of oxygen passing through the inorganic film is generated at this time, the oxygen is separated from the oxygen-containing gas.本発明は、酸素含有気体から酸素を分離する方法に関する。当該方法は、プラズマポンプ(16)内で前記酸素含有気体を加熱及び圧縮する工程、前記の加熱及び圧縮された酸素含有気体を密な無機膜の第1面へ案内することで、前記酸素含有気体によって酸素を透過させる温度にまで前記無機膜を加熱する工程、並びに、前記無機膜の第1面と第2面との間で圧力差を発生させる工程を有する。このとき前記無機膜を通り抜ける酸素の流れが生成されることで、前記酸素含有気体から前記酸素が分離される。