PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a plasma device having higher safety than the conventional one. A plasma device according to an embodiment of the present invention includes a plasma generator, a feeder, a high-voltage line, and a ground line. The plasma generator generates plasma. The feeder supplies power to the plasma generator. The high-voltage line transmits electric power from the feeder to the plasma generator. The ground wire electrically grounds the plasma generator. Further, the ground wire includes a first conductor, a first insulating layer, and a first shield layer. The first conductor is electrically grounded. The first insulating layer is provided so as to cover the outer periphery of the conductor. The first shield layer is conductive and is provided so as to cover the outer periphery of the first insulating layer. [Selection diagram] Fig. 1【課題】本発明は、従来よりも安全性の高いプラズマ装置を提供することを目的とする。【解決手段】本発明の一実施形態であるプラズマ装置は、プラズマ発生器と、供給器と、高圧線と、アース線と、を備える。前記プラズマ発生器は、プラズマを発生させる。前記供給器は、前記プラズマ発生器に電力を供給する。前記高圧線は、前記供給器からの電力を前記プラズマ発生器に伝送する。前記アース線は、前記プラズマ発生器を電気的に接地する。また、前記アース線は、第１導体と、第１絶縁層と、第１シールド層と、を備える。前記第１導体は、電気的に接地されている。前記第１絶縁層は、前記導体の外周を覆うように設けられている。前記第１シールド層は、導電性であり、前記第１絶縁層の外周を覆うように設けられている。【選択図】図１
