Methods and techniques for fabricating layered structures, such as capacitive micromachined ultrasound transducers, as well as the structures themselves. The layered structure has a membrane that includes a polymer-based layer and a top electrode on the polymer-based layer. The membrane is suspended over a closed cavity and may be actuated by applying a voltage between the top electrode and a bottom electrode that may be positioned along or be a bottom of the closed cavity. The layered structure may be fabricated using a surface micromachining or wafer bonding process.L'invention concerne des procédés et des techniques destinés à fabriquer des structures stratifiées, de type transducteurs à ultrasons micro-usinés capacitifs, ainsi que les structures elles-mêmes. La structure stratifiée a une membrane qui inclut une couche à base de polymère et une électrode supérieure sur la couche à base de polymère. La membrane est suspendue au-dessus d'une cavité fermée et peut être actionnée en appliquant une tension entre l'électrode supérieure et une électrode inférieure qui peut être positionnée le long du fond ou être le fond de la cavité fermée. La structure stratifiée peut être fabriquée par un micro-usinage de surface ou un processus de soudage de plaquettes.
