柔性自驱动压力传感器及其制造方法
- 专利权人:
- 清华大学
- 发明人:
- 冯雪,马寅佶,孟艳芳
- 申请号：
- CN202010910696.7
- 公开号：
- CN112006813A
- 申请日:
- 2020.09.02
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2020
- 代理人:
- 摘要：
- 本公开涉及一种柔性自驱动压力传感器及其制造方法。该方法包括：对第一衬底材料与第二衬底材料进行混合、固化处理，得到下衬底层；在下衬底层上制备出第一电极层；将离子导体涂覆到下衬底层和第一电极层上，形成离子导体层；将上衬底层安装覆盖在离子导体层上，得到传感器，上衬底层靠近离子导体层的一面设置有第二电极层。本公开实施例所提供的柔性自驱动压力传感器及其制造方法，所制造的传感器可以自驱动实现压力检测，且能耗小，在较高拉伸性下机械性能与电性能之间的可以达到兼顾、集成度好、拉伸性能好、集成度高，制造工艺简单、成本低。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
