电容检测型超声波换能器及具备其的超声波拍摄装置
- 专利权人:
- 株式会社日立制作所
- 发明人:
- 竹崎泰一,町田俊太郎,龙崎大介,吉村保广,永田达也,山下尚昭
- 申请号：
- CN201780027702.0
- 公开号：
- CN109152568A
- 申请日:
- 2017.06.07
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2019
- 代理人:
- 摘要：
- 电容检测型超声波换能器(111A)具备硅基板(101)、形成于硅基板(101)上的绝缘膜(102)、下部电极(103)、绝缘膜(104、106)、由在绝缘膜(106)的一部分所形成的空隙构成的空洞部(105)、上部电极(107)、绝缘膜(108、114)以及保护膜(109)。另外,空洞部(105)的上部的绝缘膜(106)、上部电极(107)、绝缘膜(108)、以及绝缘膜(114)构成振动膜(110),振动膜(110)的上部的保护膜(109)被分割成隔开固定间隔的间隙(115)而规则性地排列的多个独立图案。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
