KIDWELL JR., Donald, William,SHENOY, Ravindra,LASITER, Jon
申请号：
USUS2017/014555
公开号：
WO2017/151239A1
申请日:
2017.01.23
申请国别(地区):
WO
年份:
2017
代理人:
摘要：
Embodiments of a sensor device and methods for manufacturing the same are disclosed. In one embodiment, a sensor device comprises a piezoelectric micromechanical ultrasonic transducer (PMUT) array configured to transmit and receive ultrasonic signals, where the PMUT array comprises a plurality of PMUTs and the PMUT array is flexible, one or more integrated circuits configured to process the ultrasonic signals, a battery configured to provide power to the PMUT array and the one or more integrated circuits, a coupling material configured to hold the PMUT array, the one or more integrated circuits, and the battery, and a capsule configured to seal the PMUT array, the one or more integrated circuits, the battery and the coupling material within the capsule.Linvention concerne, selon des modes de réalisation, un dispositif capteur et des procédés de fabrication associés. Selon un mode de réalisation, un dispositif capteur comprend un réseau de transducteurs ultrasonores micro-mécaniques piézoélectriques (PMUT) conçu pour transmettre et recevoir des signaux ultrasonores, le réseau de PMUT comprenant une pluralité de PMUT et le réseau de PMUT étant flexible, un ou plusieurs circuits intégrés conçus pour traiter les signaux ultrasonores, une batterie conçue pour fournir de la puissance au réseau de PMUT et à lun ou aux circuits intégrés, un matériau de couplage conçu pour supporter le réseau de PMUT, le ou les circuits intégrés et la batterie et une capsule conçue pour sceller le réseau de PMUT, le ou les circuits intégrés, la batterie et le matériau de couplage au sein de la capsule.
