The present invention provides a process and apparatus for sterilization / disinfection by ozone and is based on hydrogen peroxide or other chemical vapor injection which humidifies the rod inside the chamber and transports ozone into the chamber through a number of capillaries. An ozone sterilization or disinfection device with hydrogen peroxide vapor injection vaporizes and binds hydrogen peroxide or other chemicals in the capillaries 4D in the vaporizer / mixer 4G that feeds the sterilization / disinfection chamber 1, such as ozone, (Doses); The carburetor / mixer operates at a pressure between 0.0001 mbar and 3000 mbar ABS and is heated to a temperature of between 5 캜 and 200 캜 by the automatic and / or electrical system (4A), or the microwave system (4J); The vaporization process performed on the sterilization / disinfection chamber 1 at a pressure between 0.0001 mbar and 3000 mbar ABS is performed in a drop-by-drop fashion by the capillary tube 4D to convert the liquid into a pulverized gas combined with ozone .본 발명은 오존에 의한 살균/소독을 위한 공정 및 장치를 제공하며, 챔버 내부의 로드를 가습하고 다수의 모세관을 통해 오존을 챔버 내로 운반하는 과산화수소 또는 다른 화학 물질 증기 주입에 기초한다. 과산화수소 증기 주입을 갖는 오존 살균 또는 소독 장치는 살균/소독 챔버(1)에 공급하는 기화기/믹서(4G) 내의 모세관들(4D) 내에 과산화수소 또는 다른 화학 물질들을 오존과 같이 기화하여 결합시키며, 상기 공급은 다양한 투여량(도우즈)으로 이루어지고; 기화기/믹서는 0.0001 mbar 내지 3000 mbar ABS 사이의 압력으로 동작하고 자동 및/또는 전기 시스템(4A), 또는 마이크로웨이브 시스템(4J)에 의해 5℃ 내지 200℃의 온도로 가열되며; 0.0001 mbar 내지 3000 mbar ABS 사이의 압력에서 살균/소독 챔버(1)에 대해 수행되는 기화 공정은 모세관 튜브(4D)에 의해 드롭 바이 드롭 방식으로 수행되어, 액체를 오존과 같이 결합된 분쇄된 가스로 변형시킨다.