The present invention relates to an apparatus for sterilization which may be applied to a medical dry sterilizer, and more particularly, to an apparatus which injects hydrogen peroxide so as to generate plasma and OH radicals which are effective in sterilization, so as to achieve the sterilization of a treated object. According to the present invention, the apparatus for sterilization comprises: a sterilizing reactor in which sterilization is performed on a treated object a vacuuming unit which is equipped with a vacuum pump connected to the sterilizing reactor and which vacuumizes the interior of the sterilizing reactor a hydrogen-peroxide supply unit which supplies hydrogen peroxide in a gas state to the interior of the sterilizing reactor and a microwave-plasma generating unit which generates plasma using microwaves. The microwave-plasma generating unit is provided with an electromagnetic-wave generating source which generates microwaves a plasma-generating unit which interconnects the hydrogen-peroxide supply unit and the sterilizing reactor such that hydrogen peroxide is supplied to the sterilizing reactor, and which generates plasma using microwaves and a microwave guide which delivers the microwaves generated from the electromagnetic-wave generating source to the plasma-generating unit.본 발명은 의료용 건식 멸균기에 적용 가능한 멸균 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 과산화수소를 투입하여 플라즈마를 발생시키고 멸균에 효과적인 OH 라디칼을 생성하여 피처리물의 멸균을 달성하기 위한 장치에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 피처리물에 대한 멸균처리가 수행되는 멸균 반응기 상기 멸균 반응기와 연결된 진공 펌프를 구비하며 상기 멸균 반응기의 내부를 진공 상태로 만드는 진공 형성부 상기 멸균 반응기 내부로 공급되는 기체상태의 과산화수소를 제공하는 과산화수소 공급부 및 마이크로웨이브를 이용하여 플라즈마를 발생시키는 마이크로웨이브 플라즈마 발생부를 포함하며, 상기 마이크로웨이브 플라즈마 발생부는 마이크로웨이브를 발생시키는 전자파발생원과, 과산화수소가 상기 멸균 반응기로 공급되도록 상기 과산화수소 공급부와 상기 멸균 반응기를 연결하고 마이크로웨이브에 의해 플라즈마가 발생하는 플라즈마 발생부와, 상기 전자파발생원으로부터 발생한 마이크로웨이브를 상기 플라즈마 발생부로 전달하는 마이크로웨이브 가이드를 구비하는 것을 특징으로 하는 의료용 플라즈마 멸균 장치가 제공된다.
