PURPOSE: A micro needle and a manufacturing method thereof are provided to form a silicon pillar having a great ratio of length and breadths using an etching mask and reduce processing time and manufacturing cost.CONSTITUTION: A manufacturing method of a micro needle comprises the following steps: manufacturing an etching mask(40) which is formed by penetration of etching patterns forming a silicon pillar(54) by etching a silicon block(50) using the etching mask and making a sharp tip(54a) using isotropic etching method with the silicon pillar. The manufacturing of the etching mask comprises the following steps: preparing an upper mold and a lower mold processing with plasma surfaces of the upper and lower molds charging polymer resin solution in space between the upper and lower molds solidifying the polymer resin solution and transferring solidified polymer resin from the upper and lower molds.COPYRIGHT KIPO 2012본 발명은 고분자 수지, 특히 PDMS를 에칭 마스크로 하여 에칭하는 방법을 통해 실리콘 블록으로부터 실리콘 기둥을 형성시키는 마이크로 니들 제조 방법에 관한 것이다.본 발명은, 에칭 패턴이 관통되어 형성되는 에칭 마스크를 제조하는 단계 및 상기 에칭 마스크를 이용하여 실리콘 블록을 에칭하여 실리콘 기둥을 형성하는 단계를 포함하며, 상기 에칭 마스크를 제조하는 단계는, 상부틀 및 하부틀을 준비하는 단계 상기 상부틀 및 상기 하부틀 표면을 플라즈마 처리하는 단계 상기 상부틀과 상기 하부틀 사이의 공간에 고분자 수지 용액을 충전하는 단계 상기 고분자 수지 용액을 경화시키는 단계 및 경화된 상기 고분자 수지를 상기 상부틀 및 하부틀로부터 이형시키는 단계를 포함한다.
