PROBLEM TO BE SOLVED: To generate an interference pattern having a large intensity difference in an interferometer using an electromagnetic wave.SOLUTION: An interferometer comprises: a first grating having a periodic pattern for modulating a phase of an electromagnetic wave radiated on an object a second grating having a periodic pattern for modulating the phase of the electromagnetic wave transmitted by the first grating and a detector detecting an intensity distribution of the electromagnetic wave transmitted by the second grating. The second grating is disposed in front of or outside of a position at which a self-figure is generated by the first grating, and a distance from the second grating to the detector is equal to or larger than 1.0 m.COPYRIGHT: (C)2016,JPO&INPIT【課題】電磁波を用いた干渉計において、強度差が強い干渉パターンを生成する。【解決手段】被検体に照射された電磁波の位相を変調するための、周期的なパターンを有する第一の格子と、前記第一の格子を透過した電磁波の位相を変調するための、周期的なパターンを有する第二の格子と、前記第二の格子を透過した電磁波の強度分布を検出する検出器と、を有し、前記第二の格子は、前記第一の格子による自己像が発生する位置の手前もしくは外側に設置され、前記第二の格子から前記検出器までの距離が1.0m以上である。【選択図】図1
