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Optical measuring device and probe system
专利权人:
コニカミノルタ株式会社
发明人:
三村 勇介,夏野 靖幸
申请号:
JP2014536598
公开号:
JPWO2014045581A1
申请日:
2013.09.19
申请国别(地区):
JP
年份:
2016
代理人:
摘要:
A first adjustment optical element that emits measurement light to a measurement object, collects the radiation light received by a probe that receives the radiation light emitted from the measurement object, and emits the radiation toward a spectroscope that divides the radiation light A detector that detects the light intensity distribution of the emitted light, a moving unit that moves the first adjustment optical element on a plane perpendicular to the optical axis direction of the emitted light and the optical axis direction of the emitted light, and a moving unit; A control unit that controls the first adjustment optical element in a plane perpendicular to the optical axis direction of the emitted light and the optical axis of the emitted light so that the amount of received light of the emitted light is increased based on the detection result of the detecting unit. Optical measuring device moved up.測定対象に測定光を出射し、測定対象から放射された放射光を受光するプローブにより受光された放射光を集光して、放射光を分光する分光器に向けて出射する第1調整光学素子と、当該放射光の光強度分布を検出する検出部と、第1調整光学素子を放射光の光軸方向及び放射光の光軸方向に垂直な平面上に移動させる移動部と、移動部を制御する制御部と、を備え、検出部の検出結果に基づいて、放射光の受光光量が増えるように、第1調整光学素子を放射光の光軸方向及び放射光の光軸に垂直な平面上に移動させる光学測定装置。
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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