Methods are provided for creating a metal or other electrically-conductive member extending from an air-backed cavity of a piezoelectric ultrasonic transducer (pMUT) apparatus defining such an air-backed cavity, through a substrate layer disposed adjacent to the transducer device of the pMUT device, and into electrically-conductive engagement with a first electrode of the pMUT device, such that the electrically-conductive member provides an electrically-conductive engagement between the first electrode and a conformal electrically-conductive layer deposited in the air-backed cavity of the pMUT device. Associated apparatuses are also provided.導電性部材が、第1の電極と、pMUT素子の空気で支持された空洞内に堆積された共形導電層との間に導電性係合を提供するように、空気で支持された空洞を画定する圧電型超音波変換子(pMUT)装置のそのような空気で支持された空洞から、pMUT素子の変換子素子に隣接して配置された基板層を通って、pMUT素子の第1の電極に導電的に係合するまで延在する金属または他の導電性部材の作製方法を提供する。関連する装置も提供する。【選択図】図6
