The inside of a case 10 of a fluid control device 1 is partitioned into a blowing chamber 21 and a control chamber 22 by a partition wall 12. A barrier wall 13 is provided inside the blowing chamber 21, and the inside of the blowing chamber 21 is partitioned into a first blowing chamber 21a and a second blowing chamber 21b. A fan unit 30 is accommodated in the second blowing chamber 21b. A differential pressure sensor 41 senses a differential pressure of the pressure inside the first blowing chamber 21a and the pressure inside the second blowing chamber 21b, and a control unit 40 controls a fan 32 on the basis of the sensed differential pressure.Selon l'invention, l'intérieur d'un boîtier (10) d'un dispositif de commande de fluide (1) est divisé en une chambre de soufflage (21) et une chambre de commande (22) par une paroi de séparation (12). Une paroi de barrière (13) est disposée à l'intérieur de la chambre de soufflage (21), et l'intérieur de la chambre de soufflage (21) est divisé en une première chambre de soufflage (21a) et une seconde chambre de soufflage (21b). Une unité de ventilateur (30) est logée dans la seconde chambre de soufflage (21b). Un capteur de différence de pression (41) détecte une différence de pression entre la pression à l'intérieur de la première chambre de soufflage (21a) et la pression à l'intérieur de la seconde chambre de soufflage (21b), et une unité de commande (40) commande un ventilateur (32) sur la base de la différence de pression détectée.流体制御装置１のケース１０の内部は、区画壁１２によって送風室２１と制御室２２とに区画されている。送風室２１の内部には、隔壁１３が配設され、送風室２１の内部が、第１送風室２１ａと第２送風室２１ｂとに区画されている。第２送風室２１ｂにファンユニット３０が収容されている。差圧センサ４１が第１送風室２１ａの内部の圧力と第２送風室２１ｂの内部の圧力との差圧を検知し、検知された差圧に基づいて制御ユニット４０がファン３２を制御する。
