用于化学分析的毛细管电泳芯片的制备方法
- 专利权人:
- 清华大学
- 发明人:
- 周兆英,汤扬华,叶雄英,冯焱颍
- 申请号：
- CN01115367.9
- 公开号：
- CN1131428C
- 申请日:
- 2001.04.23
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2003
- 代理人:
- 罗文群
- 摘要：
- 本发明涉及一种用于化学分析的毛细管电泳芯片的制备方法，首先在第一玻璃片上打孔，然后在第二玻璃片上镀Cr膜，甩涂光刻胶，用刻有微管道图形的模板作为掩膜版，对光刻胶曝光并显影，露出该处的Cr膜层，再刻蚀，形成微管道图形，最后用腐蚀液在第二玻璃片上刻蚀出微管道网络，使上、下玻璃片的通孔、端部相对准，在高温度下使两片玻璃键合。本发明的方法，制造成本低，易于大批量生产，工艺流程的简单，提高了制造成品率。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
