用于化学分析的毛细管电泳芯片的制备方法
- 专利权人:
- 清华大学
- 发明人:
- 周兆英,汤扬华,叶雄英,冯焱颍
- 申请号:
- CN01115367.9
- 公开号:
- CN1320818A
- 申请日:
- 2001.04.23
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2001
- 代理人:
- 罗文群
- 摘要:
- 本发明涉及一种用于化学分析的毛细管电泳芯片的制备方法,首先在第一玻璃片上打孔,然后在第二玻璃片上镀Cr膜,甩涂光刻胶,用刻有微管道图形的模板作为掩膜版,对光刻胶曝光并显影,露出该处的Cr膜层,再刻蚀,形成微管道图形,最后用腐蚀液在第二玻璃片上刻蚀出微管道网络,使上、下玻璃片的通孔、端部相对准,在高温度下使两片玻璃键合。本发明的方法,制造成本低,易于大批量生产,工艺流程的简单,提高了制造成品率。
- 来源网站:
- 中国工程科技知识中心