PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a technique that maintains the accuracy of wave surface detection by preventing disturbance of spots of an HS image, caused by the positional relation between the PW pattern of correction data and MLA even in use of wave surface sensors of liquid crystal type SLM and HS type.SOLUTION: A compensating optical system comprises: emitting means that emits, via a spatial optical modulator, measurement light to an object to be inspected； detecting means that detects the wave surface of light returned from the object being inspected, by use of a micro-lens array formed by arranging a plurality of micro-lenses； acquiring means that, on the basis of the wave surface detected by the detecting means, acquires correction data for correcting the wave surface by phase wrapping in the spatial modulator； and control means that exerts control such that the non-continuous part of the wave surface caused by the phase wrapping determined by the correction data has a constant distance or longer from the center of each of the micro-lenses.【課題】 液晶型ＳＬＭとＨＳ型波面センサを用いた場合にも、補正データのＰＷのパターンとＭＬＡとの位置関係によって発生するＨＳ像のスポットの乱れを防ぎ、波面検出の精度を維持する技術を提供する。【解決手段】 補償光学系は、空間光変調器を介して測定光を被検査物に照射する照射手段と、複数のマイクロレンズを配置してなるマイクロレンズアレイにより、前記被検査物からの戻り光の波面を検出する検出手段と、前記検出手段が検出した波面に基づき、当該波面を前記空間光変調器において位相ラッピングにより補正するための補正データを取得する取得手段と、前記補正データにより決定される前記位相ラッピングにより生じる波面の不連続部が、前記マイクロレンズアレイにおいて前記マイクロレンズの各々の中心から一定以上の距離を保つように制御する制御手段とを備える。【選択図】 図１
