정전용량형 전기기계 변환소자 및 그 제조방법

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专利权人:

发明人:

소에다 야스히로

申请号：

KR1020100042738

公开号：

KR1012488570000B1

申请日:

2010.05.07

申请国别(地区):

KR

年份:

2013

代理人:

摘要：

capacitive electro-mechanical transducer has a plurality of cavities , between its cavity, contact to interconnect unit and provided with two electrodes sandwiching a respective cavity . The cavities are , and is sealed from the outside , the contact portion is at least a portion closes off the communication between the cavities through the contact portion .정전용량형 전기기계 변환소자는, 복수의 캐비티, 그 캐비티간을 서로 연결하는 연락부, 각 캐비티를 끼운 2개의 전극을 구비한다. 상기 캐비티들은, 외부에서 봉지되어 있고, 상기 연락부의 적어도 일부는 닫혀서 상기 연락부를 통해 상기 캐비티간의 연통을 차단한다.

来源网站：

中国工程科技知识中心

来源网址：

http://www.ckcest.cn/home/