CHAMBRE DE COMMERCE ET D'INDUSTRIE DE REGION PARIS ILE DE FRANCE;BODYCAP
发明人:
LAURIE VALBIN,LIONEL ROUSSEAU,FABRICE VERJUS
申请号：
FR1455920
公开号：
FR3006113A1
申请日:
2014.06.25
申请国别(地区):
FR
年份:
2014
代理人:
摘要：
The present invention relates to a method of manufacturing a piezoelectric sensor, comprising the following steps: a superposition of sensor layers (2, 4, 5, 12), the sensor layers, is manufactured on a rigid support (10). comprising a layer of piezoelectric material (5) between a first electrode (6, 7) and a second electrode (8, 9), the first electrode not in contact with the second electrode, and then the sensor layers (2, 4, 5, 12) are always carried by the rigid support (10), the sensor layers are covered by a polymer layer (11), and the superposition of sensor layers is removed from the rigid support (10). so that the sensor layers covered by the polymer layer (11) are no longer carried by the rigid support (10). La présente invention concerne un procédé de fabrication d'un capteur piézoélectrique, comprenant les étapes suivantes : on fabrique, sur un support rigide (10), une superposition de couches de capteur (2, 4, 5, 12), les couches de capteur comprenant une couche de matière piézoélectrique (5) comprise entre une première électrode (6, 7) et une deuxième électrode (8, 9), la première électrode n'étant pas en contact de la deuxième électrode, puis alors que les couches de capteur (2, 4, 5, 12) sont toujours portées par le support rigide (10), on recouvre les couches de capteur par une couche de polymère (11), puis on retire du support rigide (10) la superposition de couches de capteur, de sorte que les couches de capteur recouvertes par la couche de polymère (11) ne soient plus portées par le support rigide (10).
