熱式質量流量計及びこれを用いた質量流量制御装置
- 专利权人:
- 日立金属株式会社
- 发明人:
- 石井 守
- 申请号：
- JP20160508640
- 公开号：
- JPWO2015141437(A1)
- 申请日:
- 2015.02.26
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】 ２５０℃に加熱することが必要な凝結性のガスを取り扱う場合であっても、センサチューブの内部でガスが再液化又は凝結しない熱式質量流量計及びこれを用いた質量流量制御装置を提供すること。【解決手段】 ベースの設置面に接して設けられ、センサチューブ及びセンサワイヤを収容するケースを有する熱式質量流量計において、ベースの設置面及びケースの側面とそれぞれ面接触をしている熱の良導体でなる伝熱ブロックを設ける。好ましい実施の形態においては、ベースの側面に接して設けられた温度調節ブロックをさらに設ける。【選択図】 図１
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
