And the acoustic lens which is provided in the upper part of the cMUT tip/chip and the aforementioned cMUT tip/chip which possess the plural vibrating elements where electromechanical coupling coefficient or sensitivity changes according to bias voltage the sending and receiving wave they do the ultra wave and the ultrasonic probe which has with the backing layer which is provided in the lower part of the aforementioned cMUT tip/chip in, Between ultrasonic sending and receiving surface side or the aforementioned acoustic lens and the aforementioned cMUT tip/chip of the aforementioned acoustic lens, electric leakage prevention expedient has. Electric leakage prevention expedient for example is insulating layer, for example is gland layer. With the searching ultrasonic touching child of this kind of structure, it prevents the electric leakage to the suffering inspection body from the ultrasonic probe, it is possible to offer the ultrasonic probe which improves electric safety and the ultrasonic diagnostic device which uses this.バイアス電圧に応じて電気機械結合係数または感度が変化する複数の振動要素を有し超音波を送受波するcMUTチップと、前記cMUTチップの上方に設けられる音響レンズと、前記cMUTチップの下方に設けられるバッキング層とを備える超音波探触子において、前記音響レンズの超音波送受信面側あるいは前記音響レンズと前記cMUTチップの間に、電気漏洩防止手段が備えられている。電気漏洩防止手段は、例えば絶縁層であり、例えばグランド層である。このような構造の探超音波触子により、超音波探触子から被検体への電気漏洩を防止し、電気的安全性を向上させた超音波探触子及びこれを用いた超音波診断装置を提供することができる。
