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感光性樹脂組成物
- 专利权人:
- 東レ株式会社
- 发明人:
- 池田 芳史,藤田 陽二
- 申请号：
- JP20150515062
- 公开号：
- JPWO2015137281(A1)
- 申请日:
- 2015.03.09
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 本発明は、スピンコート法によって塗布する際の基板面内における膜厚の均一性を向上させることができるポジ型感光性樹脂組成物を提供する。（ａ）一般式（１）で表される構造を主成分とする樹脂、ポリイミド、ポリベンゾオキサゾール、およびフェノール樹脂から選択される少なくとも１種類の樹脂、（ｂ）キノンジアジド化合物、（ｃ）界面活性剤、（ｄ）有機溶剤を含有し、該（ｄ）有機溶剤が、大気圧における（ｄ−１）沸点１５０℃以上、１８０℃未満の有機溶剤、および（ｄ−２）沸点１８０℃以上２２０℃未満の有機溶剤を少なくとも含有することを特徴とする。（上記一般式（１）中、Ｒ1およびＲ2はそれぞれ同じでも異なっていてもよく、炭素数２以上の２〜８価の有機基を示す。Ｒ3およびＲ4はそれぞれ同じでも異なっていてもよく、
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
