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制备DLC膜的工业型自动化气相沉积设备
- 专利权人:
- 成都工具研究所有限公司
- 发明人:
- 李洪林,周彤,胡恒宁,李波
- 申请号：
- CN201510383028.2
- 公开号：
- CN104962914B
- 申请日:
- 2015.07.03
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 冯忠亮
- 摘要：
- 本发明是制备DLC膜的工业型自动化气相沉积设备，解决巳有的气相沉积设备结构复杂，造价高，不易于操作、不能精确控制的问题。在该设备的沉积室内同时具有物理气相沉积（PVD）单元和物理化学气相沉积（PCVD）单元，既可以采用单一单元单独进行DLC膜的沉积，也可以交替使用两个单元进行连续的DLC的复合沉积，该设备由沉积室、供气系统、真空系统、加热系统、水冷系统、磁控溅射系统、工件高压绝缘装夹系统、电气控制系统、脉冲调制电源系统等组成，具有容量大、自动化程度高、精密度高、安全性强、可扩展性强、操作及维护简单、产品应用范围广等众多优点，可广泛应用于机械、航空航天、医药等诸多领域。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
