微粒子分散液、配線パターンおよび配線パターンの形成方法
- 专利权人:
- 国立大学法人九州大学
- 发明人:
- 深井 潤,坂上 恵,中川 彰馬
- 申请号:
- JP20160531444
- 公开号:
- JPWO2016002881(A1)
- 申请日:
- 2015.07.02
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要:
- 本発明の微粒子分散液は、微粒子と、シロキサン結合を含む繰り返し単位を有する主鎖を有し、かつ、その主鎖の側鎖および末端の少なくともいずれかに親水性基を有する表面調整剤を含有する。この微粒子分散液を用いれば、微細な配線パターンを均一な線幅で形成することができる。
- 来源网站:
- 中国工程科技知识中心