您的位置：
首页
>
农业专利
>
详情页
酸化物誘電体及びその製造方法、並びに固体電子装置及びその製造方法
- 专利权人:
- 国立大学法人北陸先端科学技術大学院大学;アダマンド株式会社
- 发明人:
- 下田 達也,井上 聡,有賀 智紀
- 申请号：
- JP20150544236
- 公开号：
- JPWO2016013416(A1)
- 申请日:
- 2015.07.10
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】優れた特性を有する酸化物誘電体、及びその酸化物誘電体を備えた固体電子装置（例えば、キャパシタ、半導体装置、又は微小電気機械システム）を提供する。【解決手段】本発明の１つの酸化物誘電体からなる酸化物層３０は、ビスマス（Ｂｉ）とニオブ（Ｎｂ）とからなる酸化物（不可避不純物を含み得る）の層であって、パイロクロア型結晶構造の第１結晶相と、β−ＢｉＮｂＯ４型結晶構造の第２結晶相とを含有している。加えて、該酸化物層３０は、２５℃以上１２０℃以下の温度範囲において酸化物層３０の温度の上昇に伴って比誘電率が低下する第１結晶相の含有量と、該温度範囲において酸化物３０の温度の上昇に伴って比誘電率が上昇する第２結晶相の含有量とが調整されたものである。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
