超声波探头和制造超声波探头的方法
- 专利权人:
- 三星麦迪森株式会社
- 发明人:
- 陈吉柱,朴正林
- 申请号：
- CN201510096643.5
- 公开号：
- CN104887264B
- 申请日:
- 2015.04.03
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2019
- 代理人:
- 摘要：
- 提供一种超声波探头和制造超声波探头的方法。所述方法包括:制备具有第一表面和第二表面的背衬层,由于在背衬层中形成有槽使得第一表面和第二表面具有不同的高度,其中,第一电极和第二电极分别暴露在第一表面和第二表面上;形成与第一电极接触的第三电极;在第三电极上形成基础压电层,基础压电单元包括压电层;通过去除基础压电单元的上部区域来形成压电单元;以及在背衬层和压电单元上形成第四电极。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
