液滴ジェネレータ、ＥＵＶ放射源、リソグラフィ装置、液滴を生成する方法及びデバイス製造方法

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专利权人:

エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ．

发明人:

ディクスマン，ヨハン,バディー，ラミン,ハルテルマンス，ロナルド,ラベッツスキ，ドズミトリ

申请号：

JP20150544398

公开号：

JP6263196(B2)

申请日:

2013.10.30

申请国别(地区):

日本

年份:

2018

代理人:

摘要：

A droplet generator, for an EUV radiation source, comprises: a capillary in which, in use, molten material flows; an actuator configured to modulate a pressure inside the capillary; and a controller configured to drive the actuator at a driving frequency; wherein the droplet generator is arranged such that, in use, the driving frequency is equal or about equal to a main resonance frequency of the molten material in the capillary.

来源网站：

中国工程科技知识中心

来源网址：

http://www.ckcest.cn/home/