The attenuation of energy of the charged particle it is the adjustment possible and also, enlargement of beam diameter of the charged particle beam adjustment possible enerugidegureda, and the charged particle lighting system which has that are offered. enerugidegureda (10) in, the attenuation material (11) it makes the configuration which it has, it decelerates the charged particle which incidence is done to the attenuation material and is attenuated energy. The Drive means for energy adjustment Drive attenuation material 11 in 1st axis direction X are provided, by the fact that alteration the incident position of the charged particle for the 1st attenuation material, the attenuation of the charged particle is made the adjustment possible. Furthermore, the attenuation material (11) the Drive means for beam diameter adjustment Drive in 2nd axis direction Y are provided, by the fact that alteration the position of the attenuation material 11 in the traveling direction of the charged particle beam, enlargement of beam diameter adjusts.荷電粒子のエネルギの減衰量を調節可能であると共に、荷電粒子ビームのビーム径の拡大を調節可能なエネルギーデグレーダ、及びそれを備えた荷電粒子照射システムを提供する。エネルギーデグレーダ(10)において、減衰材(11)を備える構成とし、減衰材に入射した荷電粒子を減速させてエネルギを減衰させる。減衰材11を第1の軸線方向Xに駆動するエネルギ調整用駆動手段を設け、第1の減衰材に対する荷電粒子の入射位置を変更することで、荷電粒子の減衰量を調節可能とする。さらに、減衰材(11)を第2の軸線方向Yに駆動するビーム径調整用駆動手段を設け、荷電粒子ビームの進行方向における減衰材11の位置を変更することで、ビーム径の拡大を調節する。
