A sterilization device is disclosed. The sterilization device includes a sterilization chamber； A sterilization liquid supply pump connected to the sterilization chamber and supplying a sterilization liquid； A sterilization liquid vaporizer positioned between the sterilization chamber and the sterilization liquid supply pump and vaporizing the sterilization liquid to generate a sterilization liquid vapor； A vacuum pump connected to the sterilization chamber and exhausting steam in the sterilization chamber to the outside； A recovery device for cooling and recovering the vaporized oil generated by the vacuum pump； And a Peltier device having a heat absorbing surface for cooling the inside of the recovery device and a heating surface for supplying heat to the sterilization liquid vaporizer.멸균 장치가 개시된다. 멸균 장치는 멸균챔버； 상기 멸균챔버와 연결되며 멸균액을 공급하는 멸균액 공급 펌프； 상기 멸균챔버와 상기 멸균액 공급 펌프 사이에 위치하며, 상기 멸균액을 기화시켜 멸균액 증기를 생성하는 멸균액 기화기； 상기 멸균챔버와 연결되며, 상기 멸균 챔버 내의 증기를 외부로 배기하는 진공 펌프； 상기 진공 펌프에서 발생되는 기화 오일을 냉각 및 회수하는 회수기； 및 상기 회수기 내부를 냉각하는 흡열면과 상기 멸균액 기화기에 열을 공급하는 발열면을 갖는 펠티에 소자를 포함할 수 있다.
