一种氮氧化物气敏材料制作方法、传感器、监测装置以及控制方法
- 专利权人:
- 南京知阔电子技术有限公司
- 发明人:
- 刘波,贾蕊
- 申请号：
- CN201310727902.0
- 公开号：
- CN103760199A
- 申请日:
- 2013.12.26
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2014
- 代理人:
- 柏尚春
- 摘要：
- 本发明公开了一种氮氧化物气敏材料制作方法、传感器、监测装置以及控制方法，制得的气敏材料由SnO2纳米粉体和WO3纳米粉体组成；基于本气敏材料制成本发明的一种氮氧化物的传感器，包括权利要求1所得到的气敏材料、MEMS控制单元、二氧化硅绝缘层，电极及参考电极、加热丝和热电偶。与现有技术相比，所述氮氧化物传感器具有低成本，减小体积，更低能耗的增益效果。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
