Provided is an ultrasonic measuring device wherein the position of an optical detection unit with respect to a vibrating film is not needed to be set with a high positional accuracy in plan view of a substrate.An ultrasonic transducer device 1 is provided with: a substrate 2 having an opening 3 a vibrating film 5 that is disposed on the substrate 2 a piezoelectric element 9, which is disposed on the vibrating film 5, and which vibrates the vibrating film 5 and an optical detection unit 14 that detects vibration of the vibrating film 5 using reflected light 15b. The optical detection unit 14 is positioned on the side opposite to the substrate 2 with respect to the vibrating film 5.La présente invention concerne un dispositif de mesure ultrasonique dans lequel la position dune unité de détection optique par rapport à un film vibrant nest pas nécessaire pour être réglée avec une précision de position élevée dans une vue de plan dun substrat. Un dispositif transducteur ultrasonique (1) comprend : un substrat (2) possédant une ouverture (3) un film vibrant (5) qui est disposé sur le substrat (2) un élément piézoélectrique (9), qui est disposé sur le film vibrant (5), et qui fait vibrer le film vibrant (5) et une unité de détection optique (14) qui détecte la vibration du film vibrant (5) à laide de la lumière réfléchie (15b). Lunité de détection optique (14) est positionnée sur le côté opposé au substrat (2) par rapport au film vibrant (5).基板の平面視において振動膜に対する光検出部の位置を位置精度良く設置しなくても良い超音波測定装置を提供する。 超音波トランスデューサーデバイス1は開口部3を有する基板2と、基板2上に設置された振動膜5と、振動膜5上に設置され振動膜5を振動させる圧電素子9と、反射光15bを用いて振動膜5の振動を検出する光検出部14と、を備え、光検出部14は、振動膜5に対して基板2の反対側に位置する。
