PROBLEM TO BE SOLVED: To solve the problem of a conventional ultrasonic probe in that, with a piezoelectric element used as an oscillation element, a plate-like piezoelectric element is stacked together with a member such as a backing, a matching layer, and an electrode, and then they are diced and divided into individual elements, and in that case, dicing is made in hundred or more elements with a width about 100-200 μm normally, however, a tact time thereof is long and a water stream is jetted in order to reduce friction heat of a rotary blade, which can cause damage such as element breaking or layer peeling.SOLUTION: In an ultrasonic probe of the present invention, those obtained by processing PZT into balls are precisely arrayed, and electrode and wiring are formed mainly by screen printing, painting, and transfer, to allow transmission/reception of signals.COPYRIGHT: (C)2014,JPO&INPIT【課題】従来の超音波プローブは、発振素子として圧電素子が用いられ、平板の圧電素子をバッキングや整合層、電極などの部材と積層した後、それらをダイシング加工して個々の素子に分割している。通常100~200μm程度の幅で、100以上の素子にダイシングするが、そのタクトタイムが長いこと、また、回転刃の摩擦熱を低減させるため水流を吹きつけることから、素子折れや層剥離といった破壊が生じる可能性を有していた。【解決手段】本発明にかかる超音波プローブはPZTを球型に加工したものを精密に配列して、電極形成と配線を主にスクリーン印刷や塗工、転写などによって形成することで信号の受発信を可能としたものである。【選択図】図3
