High frequency ultrasonic piezoelectric element, method for manufacturing the same, and high frequency ultrasonic probe including the same

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专利权人:

株式会社産学連携研究所;国立大学法人;国立大学法人京都大学;熊本大学;国立大学法人 熊本大学

发明人:

小林 牧子,田邉 将之,椎名 毅,隅田 剣生,河口 範夫

申请号：

JP2015126268

公开号：

JP6122066B2

申请日:

2015.06.24

申请国别(地区):

JP

年份:

2017

代理人:

摘要：

According to the present invention, a lower electrode is prepared, and a composite containing a sol-gel solution and a piezoelectric powder is applied by spraying onto the lower electrode. The applied complex is then sintered to form a piezoelectric film, and an upper electrode is formed on the piezoelectric film.

来源网站：

中国工程科技知识中心

来源网址：

http://www.ckcest.cn/home/