Die Erfindung betrifft höchstreine, nanokristalline Siliciumpulver, umfassend kristalline Submicropartikel, die optional auf einer Siliciumlegierung mit Elektronendonatoren- und/oder Elektronenakzeptoren basieren und/oder eine Zone einer entsprechenden Legierung aufweisen sein können. Ferner wird ein Verfahren zur Herstellung der Siliciumpulver sowie die Verwendung eines Reaktors zur Herstellung der Siliciumpulver offenbart. Die erfindungsgemäßen Siliciumpulver können vorzugsweise zur Herstellung von Halbleiterausgangsstoffen, Halbleitern, Thermoelementen zur Energierückgewinnung aus Abwärme, insbesondere von hochtemperaturstabilen Thermoelementen verwendet werden.the invention relates to h\u00f6chstreine, nanokristalline siliciumpulver fully crystalline submicropartikel, optionally on a siliciumlegierung with elektronendonatoren and \/ or elektronenakzeptoren based and \/ or a corresponding alloy in a zone can be.in addition, a method for the production of siliciumpulver and the use of a reactor for the production of siliciumpulver revealed. the erfindungsgem\u00e4\u00dfen siliciumpulver can preferably for the production of halbleiterausgangsstoffen, semiconductors, thermocouples for recovery of energy from waste heat, in particular hochtemperaturstabilen thermocouples are used.