To effectively cool an electronic circuit, etc. in a probe head.SOLUTION: A cooling jacket 34 includes a flat plate-like jacket body 140. A laminate 22 includes a vibration element array 24 and an electronic circuit 26. A front face (heat-absorbing surface) 140F of the jacket body 140 is directly joined to a back face 26a of the electronic circuit 26. A refrigerant circulates inside the jacket body 140. A refrigerant inlet 104, a refrigerant outlet 106, and a ground terminal 108 are provided to a back face of the jacket body 140.SELECTED DRAWING: Figure 4【課題】プローブヘッド内の電子回路等を効果的に冷却する。【解決手段】冷却ジャケット３４は、平板状のジャケット本体１４０を有する。積層体２２は振動素子アレイ２４及び電子回路２６を有する。電子回路２６の後面２６ａに対して、ジャケット本体１４０の前面（吸熱面）１４０Ｆが直接的に接合される。ジャケット本体１４０の内部を冷媒が流通する。ジャケット本体１４０の後面には、冷媒入口１０４、冷媒出口１０６及びグランド端子１０８が設けられている。【選択図】図４
