表面検査装置
- 专利权人:
- 株式会社ディスコ
- 发明人:
- 伊藤 優作
- 申请号：
- JP20160127692
- 公开号：
- JP2018004306(A)
- 申请日:
- 2016.06.28
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】被処理体の表面状態を高精度に検査できる表面検査装置を提供すること。【解決手段】ウエーハＷを保持するチャックテーブルと、ウエーハＷを撮像する撮像部と、チャックテーブルから撮像部に延びる光軸Ｌを中心にして配置され、環状のスリット１０４Ｂを備える一の環状の光ガイド１０４と、発光源からの光を光ガイド１０４に伝送する光ファイバと、光軸Ｌを囲繞する凹状の反射面を有する反射鏡１０５と、を備え、反射面はスリット１０４Ｂを第２焦点Ｆ２としウエーハＷ上の被照射点を第１焦点Ｆ１とする楕円曲線の一部を、光軸Ｌを中心に一回転させることにより形成される凹曲面である。【選択図】図５
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