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放射線検出器の製造方法
专利权人:
株式会社東芝
发明人:
榛葉 勇一,本間 克久
申请号:
JP2011545980
公开号:
JP5940302B2
申请日:
2010.12.15
申请国别(地区):
JP
年份:
2016
代理人:
摘要:
The process for producing the radiation detector and high-reliability characteristic degradation of improving the adhesion of the scintillator layer and the array substrate having a photoelectric conversion element, and due to the peeling of the scintillator layer is unlikely to occur. An array substrate 12 formed the protective film 26 on the top surface and having a photoelectric conversion element 21 for converting the electrical signal fluorescence on a substrate, CsI base to convert the fluorescence radiation incident provided on the protective film 26 In the radiation detector 11 with a, a reflective layer 14 for reflecting to the array substrate 12 and the fluorescence from the scintillator layer 13 and the scintillator layer 13 is provided on the scintillator layer 13, an acrylic thermoplastic resin protective film 26 I is formed by the system organic resin material.光電変換素子を有するアレイ基板とシンチレータ層の密着力を改善し、シンチレータ層の剥がれに起因する特性劣化が起こりにくい高信頼性の放射線検出器及びその製造方法を提供する。基板上に蛍光を電気信号に変換する光電変換素子21を有しかつ最表層に保護膜26が形成されたアレイ基板12と、保護膜26上に設けられ入射する放射線を蛍光に変換するCsIベースのシンチレータ層13と、シンチレータ層13上に設けられシンチレータ層13からの蛍光をアレイ基板12側へ反射させる反射層14と、を備える放射線検出器11において、保護膜26を熱可塑性樹脂であるアクリル系有機樹脂材料で形成する。
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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