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多姿态大口径平面光学元件面形检测装置和方法
- 专利权人:
- 中国工程物理研究院激光聚变研究中心;西南科技大学
- 发明人:
- 郑万国,袁晓东,熊召,徐旭,范勇,陈念年,刘长春,叶海仙,曹庭分,易聪之
- 申请号：
- CN201310183511.7
- 公开号：
- CN103245303B
- 申请日:
- 2013.05.17
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2016
- 代理人:
- 龚燮英
- 摘要：
- 本发明公开了一种多姿态大口径平面光学元件面形检测装置和方法，包括光学系统（1）、三维精密运动平台（2）和面形检测控制与处理系统（3）；三维精密运动平台（2）包括垂直运动导轨（4）、水平运动导轨（5）和旋转运动平台（6）；三维精密运动平台（2）用于实现对不同姿态下光学元件的面形测量过程中的二维扫描运动；面形检测控制与处理系统（3）实现对三维精密运动平台（2）的运动控制、光学系统（1）的姿态调整、光斑信息采集、面形重构、面形绘制功能；本发明提升了系统的测量精度，采用高精度测角仪、猫步法测量方法和光学系统姿态自动校正等技术，检测精度能达1/6波长。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
