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Mounting system for optics
专利权人:
Inc.;Align Technology
发明人:
Boltanski, Rami
申请号:
AU2015278737
公开号:
AU2015278737B2
申请日:
2015.06.24
申请国别(地区):
AU
年份:
2017
代理人:
摘要:
An optical system comprises a detector to determine one or more intensities of light impinging on one or more locations of the detector and an optical element to redirect light towards the detector along a detection axis. The detector and optical element are coupled together by three or more substantially flat flexures respectively defining three or more flexure planes parallel to the detection axis.
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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