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Gerät zur Behandlung einer Fläche mit einem Plasma
专利权人:
CINOGY GmbH
发明人:
Dirk Wandke,Leonhard Trutwig,Mirko Hahnl,Karl-Otto Storck
申请号:
DE102013019058
公开号:
DE102013019058A1
申请日:
2013.11.15
申请国别(地区):
DE
年份:
2015
代理人:
摘要:
Ein Gerät zur Behandlung einer Fläche mit einem dielektrisch behinderten Plasma, wobei die Fläche als Gegenelektrode fungiert, mit einem Gehäuse (1), in dem sich eine Hochspannungszuleitung, eine mit der Hochspannungszuleitung verbundene Elektrode (8) und ein die Elektrode (8) gegenüber der Fläche abschirmendes Dielektrikum (9) befindet, ermöglicht die Plasmabehandlung stark gekrümmter Flächen ebenso wie größerer Flächenareale dadurch, dass die Elektrode (8) die Form einer Kugel aufweist, die zumindest begrenzt in dem Gehäuse (1) drehbar gelagert ist und mit einem Kugelabschnitt aus einer stirnseitigen Öffnung (5) des Gehäuses (1) herausragt und dass die Elektrode (8) so mit dem Dielektrikum (9) beschichtet ist, dass ihr aus dem Gehäuse (1) herausragender Kugelabschnitt in jeder möglichen Drehstellung durch das Dielektrikum (9) abgedeckt ist.A device for the treatment of a surface with a dielectrically impeded plasma, wherein the surface acts as a counter-electrode, with a housing (1), in which there is a high-voltage supply lead, a high-voltage supply lead with the associated electrode (8) and a the electrode (8) with respect to the surface shielding dielectric (9) is located, makes possible the plasma treatment strongly curved surfaces, as well as larger surface areas of the fact that the electrode (8) in the shape of a sphere, the at least to a limited extent in the housing (1) is rotatably supported, and with a spherical portion of a front opening (5) of the housing (1) and that the electrode (8) in such a way with the dielectric (9) is coated, that their from the housing (1) projecting ball section, in each possible rotary position by the dielectric (9) is covered.
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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