Leonhard Trutwig,Mirko Hahnl,Karl-Otto Storck,Dirk Wandke,Matthias Kopp
申请号：
DE102016100466
公开号：
DE102016100466A1
申请日:
2016.01.13
申请国别(地区):
DE
年份:
2017
代理人:
摘要：
Ein Gerät zur Behandlung einer Fläche mit einem dielektrisch behinderten Plasma, wobei die Fläche als Gegenelektrode fungiert, mit einem aus einem Gehäusekörper (4) und einem Gehäusekopf (17) gebildeten, elektrisch isolierenden Gehäuse (1), in dem sich eine Hochspannungszuleitung (10) und eine Lagerung für eine mit der Hochspannungszuleitung (10) verbundene Elektrode (18) mit einem die Elektrode (18) gegenüber der Fläche abschirmenden Dielektrikum (19) befindet, wobei die Elektrode (18) in dem Gehäusekopf (17) drehbar gelagert ist und mit einem von dem Dielektrikum (19) bedeckten Oberflächenabschnitt aus dem Gehäusekopf (17) herausragt, ermöglicht mit einer einfachen Konstruktion eine prinzipiell unbegrenzte Bewegung der Elektrode über die zu behandelnde Fläche dadurch, dass die Elektrode in einer Mittenachse angeordnete Drehlagerelemente (28) aufweist, mit denen sie im Zusammenwirken mit Drehlagerelementen (29) im Gehäusekopf (17) um die Mittenachse drehbar gelagert und mit der Hochspannungszuleitung (10) verbunden ist und dass der Gehäusekopf (17) drehbar um eine winkelig zur Mittenachse stehende Drehachse mit dem Gehäusekörper (4) verbunden und mit einer Kontaktanordnung (11, 21) zur Aufrechterhaltung einer elektrischen Verbindung während der Drehbewegung versehen ist.An apparatus for treating a surface with a dielectrically impeded plasma, wherein the surface acts as a counter electrode, comprising an electrically insulating housing (1) formed from a housing body (4) and a housing head (17), in which a high voltage supply line (10) and a support for an electrode (18) connected to the high voltage lead (10) with a dielectric (19) shielding the electrode (18) from the surface, the electrode (18) being rotatably mounted in the housing head (17) and having a surface portion covered by the dielectric (19) protrudes from the housing head (17), allows a basically unlimited movement of the electrode over the surface to be treated by a simple construction in that the
